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1.真空爐處理鈦合金時，氮氣不宜作為冷卻氣體，因為鈦和氮在高溫下反應，形成金黃色氮化鈦。

2.有些真空爐的活動連接采用O型橡膠圈密封連接，有些通過水冷卻。

3.工件在真空狀態下淬火時，應使用真空淬火油，蒸汽壓低。

4.真空爐的維護應在真空或充純氮狀態下進行，避免平時不用時吸氣、吸潮。

5.國內真空爐的壓升率不得超過1.33Pa/h，國外一些公司的標準為0.67Pa/h。

6.真空加熱主要是輻射，工件在爐內保持距離。

7.在加熱過程中，工件和爐內材料會放氣，降低真空度。

8.真空回火、真空退火、真空固溶處理和真空時效加熱溫度一般與常規處理相同。

9.真空回火爐大約有快冷設備。冷卻水壓力大于0.2Mpa，流量應可調。

10.冷卻氣體:鋼一般為99.995純氮，高溫合金為99.999氮或氬，鈦合金為99.995氬。

11.加熱：放入工件后，一般在加熱前預抽至6.67Pa。