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利用真空狀態下金屬的變相特性，在與大氣壓只差0.1MPa范圍內的真空下，固態相變熱力學和動力學不會發生任何變化。在制定真空熱處理工藝規程時，根據常壓下固態相變的原理，可以充分參考常壓下各種類型組織變化的數據。一起在真空脫氣的作用下，可以提高金屬材料的物理力學性能，在真空狀態下加熱時，金屬工件的外表元素會發生蒸騰現象。金屬完成無氧化加熱所需的真空度、外觀凈化效果，完成少無氧化和少無脫。