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真空熱處理是真空技術與熱處理技術相結合的一種新型熱處理技術。真空熱處理所處的真空環境是指低于大氣壓的氣氛環境，包括低真空、中真空、高真空和超高真空。真空熱處理實際上屬于氣氛控制熱處理。真空熱處理是指熱處理過程的全部和部分在真空狀態下進行。真空熱處理可以實現幾乎所有常規熱處理都可以涉及的熱處理過程，但熱處理質量大大提高。與常規熱處理相比，真空熱處理可以實現無氧化、無脫碳、無滲碳，去除工件表面的磷屑，起到脫脂除氣的作用，從而達到表面光亮凈化的效果。