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精密復雜模具變形的原因往往很復雜，但只要我們掌握其變形規律，分析其原因，就可以減少和控制不同的方法來防止模具變形。一般來說，高頻熱處理可以采用以下方法來防止精密復雜模具的熱處理變形。

(1)材料的合理選擇。精密復雜模具應選用材料好的微變形模具鋼（如空淬鋼），碳化物偏析嚴重的模具鋼應合理鍛造，調節質量和熱處理，大、不能鍛造的模具鋼可固體溶解和雙細化熱處理。

(2)模具結構設計要合理，厚度不要太大，形狀要對稱。對于變形較大的模具，要掌握變形規律，保留加工余量。對于大型、精密、復雜的模具，可以采用組合結構。

(3)精密復雜模具應提前熱處理，以消除加工過程中產生的殘余應力。

(4)合理選擇加熱溫度，控制加熱速度。對于精密復雜的模具，可采用緩慢加熱、預熱等均衡加熱的方法，減少模具的熱處理變形。

(5)在保證模具硬度的前提下，盡量采用預冷、分級冷卻淬火或溫淬火工藝。

(6)對于精密復雜模具，在條件允許的情況下，盡量采用真空加熱淬火和淬火后的深冷處理。

(7)一些精密復雜的模具可以通過預熱處理、及時熱處理和氮化熱處理來控制模具的精度。

(8)修復模具砂眼、氣孔、磨損等缺陷時，選用冷焊機等熱影響小的修復設備，避免修復過程中變形。

此外，正確的高頻熱處理工藝操作（如堵孔、綁孔、機械固定、適當的加熱方法、正確選擇模具的冷卻方向、冷卻介質中的運動方向等），合理的回火熱處理工藝也是減少精密復雜模具變形的有效措施。