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真空熱處理不銹鋼可退火、固溶、淬火、回火、消除應力等。

(1)設備的選擇。真空熱處理爐有不同類型（立式、臥式、組合式等），不同的加熱源（電阻加熱、感應加熱、電子束加熱、等離子體加熱等）。以及不同的加熱方法（外部加熱、內部加熱等）。.根據工作溫度可分為低溫爐(≤700℃)、中溫爐(>700~1000℃)和高溫爐(>1000℃)，按極端真空度可分為低真空爐(1.33×103~13.3Pa)和中真空爐(13.3~1.33×10-2Pa)。

對于不銹鋼真空熱處理，考慮設備操作方便，系統安全可靠，極限真空度13.3~1.33×10-2Pa可以滿足使用要求。更高的極端真空要求將增加設備成本。升壓速率不大于0.6Pa/h，溫差一般不大于5℃。配有風冷或油冷裝置，能滿足冷卻需要。

(2)不銹鋼真空熱處理的操作要點。

①考慮到真空熱處理加熱的特點，不銹鋼工件放入真空爐時應預留一些間隙，以確保工件所有表面都能熱處理到位。

②由于不銹鋼工件的加熱工藝溫度相對較高，通常在1000度以上，因此需要在真空熱處理爐中預熱工件約800度。在適應高溫緩沖后，不銹鋼本體將緩慢上升到工藝要求的溫度。

③根據工藝要求，不銹鋼工件在真空熱處理爐中加熱一定時間。

④調整真空度對工件熱處理質量也很重要，需要根據操作經驗合理選擇真空度。

⑤為提高工件的韌性，高溫熱處理后需在低溫區回火一段時間。

⑥不銹鋼工件真空熱處理出爐后，采用風冷、油冷、爐冷等適當卻方法。