（1）真空熱處理節能，經濟性好。真空熱處理與常壓熱處理相比可以節約能源，因為真空熱處理爐具有良好的保溫效果，熱損失較少，降低能耗。許多真空熱處理設備（如真空電阻爐）可用于各種真空熱處理，如真空退火、真空淬火、真空滲碳、真空釬焊、真空及時性等。真空熱處理爐可完成機械化、自動化，節省人力和時間，然后降低產品成本。
（2）真空熱處理可以完成環境保護。與常壓熱處理相比，真空熱處理在封閉環境中處理，環境清潔，廢棄物排放少，環境污染少。真空熱處理爐外殼水冷，無熱影響，安全可靠。
（3）真空熱處理操作簡單，提高了生產能力。與常壓熱處理相比，真空熱處理對工人的操作要求簡單，過失不簡單，質量保證簡單。真空熱處理后的機械部件可直接用于電鍍，無需除油、清洗或其他外觀加工，消除了許多輔助加工過程，節省了加工時間和加工成本，降低了生產成本。
（4）真空熱處理機械零件質量好，機械性能提高，可延長使用壽命。真空淬火可以將任何油淬火和氣淬火數據淬火到高硬度；用真空熱處理代替鹽浴的高速鋼可以起到很好的作用，如增加工具的使用壽命，工具不會出現滲碳、脫碳、氧化、氫脆等問題；真空熱處理的機械零件變形小，不易開裂。例如，高速鋼燕尾銑刀的真空加熱，然后真空淬火不會開裂。零件采用真空油淬火，變形量僅為一般油淬火的1/10，真空熱處理后不能進行2~3倍。
此外，模具的使用壽命可以延長40%~400%，東西的使用壽命可以延長。
（5）真空熱處理零件變形小。熱處理過程中工件變形的原因:一是工件在熱處理過程中產生相變應力；二是工件在加熱冷卻過程中各部分溫度變化速度不同，導致熱應力。真空熱處理爐溫度均勻，在真空條件下加熱。換熱方法主要是熱輻射而不是對流加熱，所以加熱溫度均勻，1200℃溫差只有±5℃；真空熱處理爐自動化程度高，爐內溫度控制簡單，爐內溫度分布均勻，工件表內溫差小，工件變形量小。
（6）易于完成設備自動化，提高設備自動化程度，確保工件熱處理質量的良好重復性。由于真空熱處理過程所需的操作參數（如溫度、壓力、流量、時間、邏輯順序等）可以被現代傳感器接受和傳輸，所有定量的工藝道路都可以預編和執行程序。當時設計的真空熱處理爐都采用了計算機程序控制、調節和顯示技能，完成了真空熱處理設備的操作自動化，工藝流程正確，設備運行重復性好，人機對話和實時監控靈活性好，確保了熱處理產品質量的均勻性。
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