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真空熱處理是真空技能與熱處理相結(jié)合的歸納技能，是指熱處理過程的全部和部分在真空條件下進(jìn)行。幾乎所有的熱處理工藝都可以在真空熱處理中完成，如淬火、退火、回火、滲碳、氮化等，在淬火熱處理相比，它具有以下優(yōu)點(diǎn)。

1.不氧化、不脫碳、不增碳對(duì)工件內(nèi)外有很好的維護(hù)作用。氧化使金屬表面失去光澤，增加表面粗糙度，降低精度。而且鋼表面的氧化皮往往是淬火軟點(diǎn)和淬火開裂的原因，氧化降低了鋼件的強(qiáng)度和其他力學(xué)性能。脫碳是指鋼加熱時(shí)表面碳含量下降的現(xiàn)象。一般情況下，鋼的氧化脫碳同時(shí)進(jìn)行。由于脫碳層的氧化，碳含量的降低會(huì)顯著降低鋼的淬火硬度、耐磨性和疲勞性，高速鋼的脫碳會(huì)降低紅硬度。真空熱處理由于金屬在一定真空度下加熱，工件避免接觸氧氣，工件不氧化，不脫碳，可以獲得明亮的外觀和良好的熱處理質(zhì)量。同時(shí)，在真空條件下，不會(huì)產(chǎn)生恢復(fù)反應(yīng)，也不會(huì)產(chǎn)生增碳現(xiàn)象。

2.提高所有機(jī)械性能，脫氣，促進(jìn)金屬外觀的凈化。真空對(duì)液態(tài)金屬有顯著的除氣效果，對(duì)固態(tài)金屬中溶解的氣體也有很好的除氣效果。氫是金屬中的有害氣體。當(dāng)采用真空加熱時(shí)，金屬和合金中的氫敏度可以降低到較低水平，消除氫脆，進(jìn)而提高數(shù)據(jù)的塑性、韌性和疲勞強(qiáng)度，提高工件的整體力學(xué)性能。當(dāng)金屬和合金在真空中加熱時(shí)，如果真空度低于相應(yīng)氧化物的分化壓力，氧化物就會(huì)分化，形成的游離氧會(huì)立即排出真空室，從而進(jìn)一步提高金屬的外觀質(zhì)量，甚至使外觀達(dá)到活化狀態(tài)，達(dá)到凈化效果。

3.工件變形小。一般來說，處理后的工件在爐內(nèi)通過熱輻射加熱，內(nèi)外溫差小，熱應(yīng)力小，這就決定了真空熱處理工藝處理后的零件變形小。同時(shí)，在真空下加熱，在真空下淬火，自動(dòng)完成，避免了工件在熱態(tài)下的空氣搬運(yùn)，減少了人工加工變形，提高了產(chǎn)品合格率。

4.可以降低工件含金量的揮發(fā)性。真空熱處理可以在可控氣氛中加熱和真空淬火，然后降低工件含金量的揮發(fā)性，保證工件的熱處理質(zhì)量。

5.真空熱處理爐熱效率高，能快速升溫降溫，穩(wěn)定性和重復(fù)性好。良好的工作環(huán)境，安全的操作，無污染和公害。