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真空熱處理是在極其稀薄的氣氛中進行的，爐內殘留的微量氣體不足以被處理的金屬材料產生氧化脫碳、增碳等作用。因此，它的優點是可以保持金屬材料表面的化學成分和原有的亮度不變。

此外，真空熱處理還可以幫助金屬脫脂，去除H2.O2.N2.CO等氣體，分解氧化物。

熱處理最好交給有能力做熱處理的材料供應商，這樣可以保證質量和持續時間，因為現在價格競爭很大，很多熱處理廠報價極低。眾所周知，熱處理是一種高耗電加工，少做一秒就少很多錢，所以如果價格低，做的時間可能不夠，不一定是真空熱處理。